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上海佳武自动化科技有限公司

张经理 女士  

经营范围:Brooks清洁器,Brooks天线,Brooks真空机

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Brooks 晶圆搬运机器人系列
每个工具的 大吞吐量和生产力流的晶圆放置可重复性在 所有主要晶圆厂获得认证Pathway 安装支持、培训和可维护性
2024-09-11
Brooks 光罩盒 B超系列
叠边小光罩接触提供不同的引脚设计尺寸 6, 250mm不锈钢长寿命铰链
2024-09-11
Brooks 光罩储料器系列
由于快速访问缓冲区缩短了访问时间操作员和 AMHS 可通过独立的手动和 OHT 装载端口同时访问市场上 高的存储密度自动化标线管理和
2024-09-11
Brooks 高频RFID天线系列
帧格式的 RFID 天线提供不同尺寸(未列出的更多尺寸请咨询)提供 70cm 或 300cm 电缆(列出 300cm 部件号)与 HF80C 读卡器兼容
2024-09-11
Brooks 真空机 马拉松系列
可配置性高,可满足广泛的过程应用需求使用经过现场验证的特定于应用程序的选项快速上市通过符合 CE 和 SEMI S2 要求的 Gen 5EN
2024-09-11
Brooks 标线盒 D双系列
适用于厚度为250mm的6光罩或厚度为90mm的5光罩叠边专为双层薄膜设计分划板载体有聚丙烯材质。
2024-09-11
Brooks 光罩管理器 Pro-S系列
自动化标线管理和可追溯性增加扫描仪/光刻单元的正常运行时间降低标线返工成本保护掩模免受化学污染、雾霾和晶体生长曝光次数增
2024-09-11
Brooks 斯巴达分拣机系列
优化的微型环境提供 流的清洁度,性能优于 ISO 1双、超薄边缘夹持晶圆处理为 苛刻的应用实现了快速的交换时间性能直线运动晶圆引
2024-09-11